潔凈房裝修:天花板:潔凈區及生產區域用雙層保溫(PU)彩鋼板,無塵明亮,色灰白,厚50mm。符合電子廠房潔凈防靜電要求。間隔:潔凈區及生?區用雙面彩鋼保溫(PU)板圍護及間隔。潔凈車間內間隔與地面及無花交角做圓弧及陰角接口,防積塵及易於衛生清潔。密閉門:單扇門:900*2000,上做玻璃觀察窗(同間隔墻平窗尺寸),裝通道鎖,門及門框采用不湫鋼制作。地面:防靜電規范 A.潔凈區水泥地面經處理后做3mm防靜電環氧地坪。符合歐洲EN548標準和要求。防火性能符合:DIN4102-1,B1級:抗燃燒性符合ISO06923:難燃:抗靜電性<+/-100V 抗化學性能符合EM423:耐稀酸、油脂、及乙醇、石漬溶劑等。具有不吸塵、不吸灰的特性。柱子:潔凈區柱子用彩鋼板全包邊,焊料貼合室凈化車間裝修,并作回風技術夾層。風淋室:按規范要求,潔凈房的風淋室設計雙人,2個:
潔凈系統方案:系統流程:新風經過濾后與回風混合,進入風冷空調機,通過中效過濾器,經末端低阻力高效過濾器后將符合溫濕度、潔凈度要求的空氣送入潔凈室。氣流組織:1萬級間全部采用上送兩側回風,車間內利用柱位、側墻做技術夾層回風道,接回風管道至空氣處理機組。空氣經粗、中高三級過濾器和溫濕度處理后送入凈房。新風系統進行組、中、二級過濾,以確保空氣的含塵濃度較低,減少外部塵源影響,提高潔凈室的凈化效果,并大大延長高效過濾器的使用壽命,減少運行維護費用。新風量根據人員衛生新風要求(每人新風量>35m3/h),并保證潔凈室內正壓的要求經計算確定。(人員在20人以內)。系統排風:有設備排風及工藝要求的房間排風,此系統由甲方確定方案。
和其他產業不同,濟源焊料貼合室凈化車間,集成電路產業鏈幾乎所有環節都需要在潔凈室內完成,焊料貼合室凈化車間設計,從單晶硅片制造,到IC制造的幾乎所有環節,到IC封裝都需要在潔凈室中完成,且對于潔凈度的要求非常高。如,14納米工藝中7納米的微粒就會影響制造過程。集成電路制造過程需要的潔凈程度越來越高,對于潔凈室工程的技術提出越來越高的要求。潔凈室工程是集成電路制造環節中重要的一環,直接決定了終產品的成敗。
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