微光顯微鏡emmi檢測和emmi分析解說
通常第三方檢測實驗室用戶對emmi檢測需要了解哪些內容呢?首先在分析故障的時候利用微光顯微鏡,它的主要特點是效率非常高,主要偵測IC內部所發射出來的光子,等離子開封機價格,在檢測芯片的時候由于電子很容易擴散到的位置。所以做emmi檢測通常是非常有必要的。它的主要優勢就是通過產生亮點的缺陷,能夠接處毛刺從而有效的進行分析,可以檢測不到亮點的情況,然后進行排除。同時利用光誘導的電阻變化能夠準確的,等離子開封機廠家,對于IC元件的短路,或者是互聯當中所出現的空洞來進行檢測,這樣才會更加的。
偵測到亮點之情況;
會產生亮點的缺陷:1.漏電結;2.解除毛刺;3.熱電子效應;4閂鎖效應; 5氧化層漏電;6多晶硅須;7襯底損失;8.物理損傷等。 偵測不到亮點之情況 不會出現亮點之故障:1.亮點位置被擋到或遮蔽的情形(埋入式的接面及 大面積金屬線底下的漏電位置);2.歐姆接觸;3.金屬互聯短路;4.表面 反型層;5.硅導電通路等。
點被遮蔽之情況:埋入式的接面及大面積金屬線底下的漏電位置,這種情 況可采用Backside模式,但是只能探測近紅外波段的發光,且需要減薄及 拋光處理。
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