其中主要應用于半導體集成電路的消費制造。在半導體工業中應用的有110余種單元特種氣體,工業氦氣,其中常用的有20~30種。在集成電路制造應用方面詳細包括集成電路芯片制程、化學氣相堆積和氣體應用、刻蝕和氣體應用、摻雜和氣體應用。
在太陽能電池應用方面詳細包括太陽能電池的應用、晶體硅太陽能電池消費工藝和氣體應用、薄膜太陽能電池消費工藝和氣體應用;在化合物半導體應用方面詳細包括化合物半導體的應用、MOCVD/LED消費工藝和氣體應用。
電子氣體
電子工業是當今推動科技發展的高新技術產業,由于所用氣體的品種多、質量要求高,為有別于其它領域應用的氣體,氦氣報價,人們把這類在電子工業中用的氣體統稱為電子特種氣體,它是當今興起的高技術含量、高投人、高附加值的高新技術產業 電子氣體的應用領域主要在半導體集成電路生產制造、非晶硅太陽能電池、液晶顯 示器件、光導纖維生產四大領域,其中主要應用于半導體集成電路的生產?!“雽w工業用氣體的特點是品種多、質量要求高、用量少,大部分是有毒或腐蝕性氣體。
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