真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時,應該選各種無油泵,如:水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求。真空泵排出來的油蒸氣對環境的影響如何。如果環境不允許有污染,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如:某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度,選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg,好能達到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設備工作真空度半個到一個數量級。真空泵的價格、運轉及維修費用。
流量單位時間流過任意截面的氣體量,符號用“Q”表示,單位為帕·升/秒(Pa·L/s)或托·升/秒(Torr·L/s)。流導表示真空管道通過氣體的能力。單位為升/秒(L/s),在穩定狀態下,管道流導等于管道流量除以管道兩端壓強差。符號記作“U”。標準大氣壓壓強為每平方厘米101325達因的氣壓,符號:(Atm)。極限真空真空容器經充分抽氣后,穩定在某一真空度,此真空度稱為極限真空。通常真空容器須經12小時煉氣,再經12小時抽真空,一個小時每隔10分鐘測量一次,取其10次的平均值為極限真空值。
擴散噴射泵:它是一種有擴散泵特性的單級或多級噴嘴與具有噴射真空泵特性的單級或多級噴嘴串聯組成的一種動量傳輸泵。油增壓泵即屬于這種形式。離子傳輸泵:它是將被電離的氣體在電磁場或電場的作用下,輸送到出口的一種動量傳輸泵。氣體捕集泵這種泵是一種是氣體分子被吸附或凝結在泵的內表面上,從而減小了容器內的氣體分子數目而達到抽氣目的的真空泵,有以下幾種型式。吸附泵:它主要依靠具有大表面的吸附劑(如多孔物質)的物理吸附作用來抽氣的一種捕集式真空泵
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