定片式真空泵:在泵殼內裝有一個與泵內表面靠近的偏心轉子,泵殼上裝有一個始終與轉子表面接觸的徑向滑片,當轉子旋轉時,滑片能上下滑動將泵腔分成兩個可變容積。余擺線式真空泵:在泵腔內偏心裝有一個型線為余擺線的轉子,它沿泵腔內壁轉動并將泵腔分成兩個可變容積。多室旋片式真空泵:在一個泵殼內并聯裝有由同一個電動機驅動的多個獨立工作室的旋片真空泵。
干泵;國外干泵市場的不斷增長,其主要驅動來自于半導體行業、化學工業、薄膜產業的迅速發展。在日本,半導體行業已全部用干式真空泵代替油封式機械泵,歐美半導體行業45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵,大大提高了產品的性能和質量。為了滿足不同應用領域和不同工況的要求,國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa~10-2Pa,抽速從20m3/h~500m3/h。
腐蝕高分子復合材料修復真空泵腐蝕真空泵腐蝕的形態可分為(均勻)腐蝕和局部腐蝕兩大類,前者較均勻的發生在真空泵全部表面,后者只是發生在局部,如孔蝕、縫隙腐蝕、晶間腐蝕、應力腐蝕等。采用高分子復合材料對真空泵實施表面有機涂層防腐,其具有良好的耐化學性能及優異的力學性能和粘接性能,與傳統的壓力容器焊接修補相比,具有施工簡便、成本低、安全性能,修復效果好的特點。
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