滑閥泵:由于滑閥泵比較耐用、可靠,國內外各種真空爐、鍍膜機以及干燥、浸漬等設備都是用滑閥泵作為前級泵,但是滑閥泵鑄件重,加工工作量較大,所以國外各真空廠都在中國尋找合作伙伴。為了使國產滑閥泵能夠進入國際市場,必須進一步降低泵的振動噪聲,噴油和漏油,提高滑閥泵長期運行的可靠性。
直聯旋片泵:隨著真空技術在各個應用領域的不斷擴大,直聯旋片泵的需求量越來越大。由于這種泵數量很多,加工裝配工作量很大,價格又很低,所以有的國外真空廠商在中國建立廠。國產中小型直聯旋片泵在技術上已經過關,價格又遠比國外的泵便宜,所以國產泵仍然有競爭優勢,關鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能質量問題,確保直聯泵在高速、高溫下性能穩定和運行可靠,同時還要進一步提高國產直聯旋片泵抽除水蒸氣的能力。
旋片式真空泵:轉子以一定的偏心距裝在泵殼內并與泵殼內表面的固定面靠近,在轉子槽內裝有兩個(或兩個以上)旋片,當轉子旋轉時旋片能沿其徑向槽往復滑動且與泵殼內壁始終接觸,此旋片隨轉子一起旋轉,可將泵腔分成幾個可變容積。滑閥式真空泵:在偏心轉子外部裝有一個滑閥,轉子旋轉帶動滑閥沿泵殼內壁滑動和滾動,滑閥上部的滑閥桿能在可擺動的滑閥導軌中滑動,而泵腔分成兩個可變容積。
旋片式真空泵( Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )具有結構緊湊,體積小,重量輕,噪音低,振動小等優點。所以,它適用于作擴散泵的前級泵,而且更適用于精密儀器配套和實驗室使用。例如:質譜儀器,冰箱流水線,真空冷凍干燥機等。
羅茨真空泵( Roots Vacuum Pump )是一種旋轉式變容真空泵,須有前級泵配合方可使用在較寬的壓力范圍內,有較大的抽速,對被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感。廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業。主要用于真空機組的主泵,需要用前級泵輔助。如:水環式真空泵,滑閥真空泵,立式無油真空泵,分子真空泵等。國內最大羅茨真空泵保持紀錄為20000L/S。
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