渦輪分子泵具有提供超清潔、無碳氫化合物的真空環境的能力，故常被用戶選用。然而，用戶也偶爾會發現渦輪分子泵提供不了不含碳氫化合物的真空環境。經調查發現碳氫化合物的來源，50%是操作失誤所帶來的問題，如渦輪分子泵的前級泵為油封式旋片泵時，沒有控制返流的安全閥，不合理的放氣程序都會引起油蒸汽的返流，不合要求的安全閥也會引起油污染。
使用渦輪分子泵時，通常可不用粗抽管道。如在快速循環的系統中，不設粗抽管道，可以選用那些耐大氣沖擊的渦輪分子泵。能直接從大氣壓力下對真空室進行抽真空。
上述討論是渦輪分子泵選用有油的前級泵工作時應注意的事項。在當前研制成功的不同型的干式前級泵可作為渦輪分子泵的前級泵時就解決了有油系統的返流問題，實現清潔的真空獲得，如能選用當前出現的那種從大氣壓一直抽到高真空的新型分子泵工作就更好了。
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