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alcatel 分子泵保養(yǎng)拆解
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  • Alcatel分子泵保養(yǎng)拆解操作指南(精簡(jiǎn)版)一、準(zhǔn)備工作1. 確認(rèn)設(shè)備已斷電,真空腔體完全泄壓至常壓2. 準(zhǔn)備工具:六角扳手套組、無(wú)塵手套、防靜電腕帶3. 清潔環(huán)境:建議在百級(jí)潔凈工作臺(tái)操作二、標(biāo)準(zhǔn)拆解流程1. 拆解外殼:使用T15星型螺絲刀卸下防護(hù)罩固定螺絲2. 轉(zhuǎn)子分離:- 標(biāo)記轉(zhuǎn)子與定子的相位對(duì)應(yīng)位置- 用拉拔器平穩(wěn)卸下轉(zhuǎn)子組件(軸向拉力<50N)3. 軸承維護(hù):- 檢查陶瓷軸承表面磨損(允許劃痕深度≤0.02mm)- 使用異超聲清洗(40kHz/30min)4. 潤(rùn)滑系統(tǒng)處理:- 清理舊潤(rùn)滑脂- 補(bǔ)充潤(rùn)滑劑量0.5±0.05ml三、關(guān)鍵注意事項(xiàng)1. 禁止直接接觸轉(zhuǎn)子葉片(表面粗糙度要求Ra≤0.1μm)2. 安裝時(shí)需保證轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡偏差<1g·mm3. 密封圈必須更換原廠配件(氟橡膠材質(zhì))四、裝配后檢測(cè)1. 低速試運(yùn)行(2000rpm)檢測(cè)振動(dòng)值(應(yīng)<0.5mm/s)2. 真空度測(cè)試:10^-5mbar基準(zhǔn)下,抽速衰減應(yīng)<5%建議每3000工作小時(shí)或半年執(zhí)行預(yù)防性保養(yǎng),復(fù)雜拆解需聯(lián)系授權(quán)服務(wù)商。操作人員應(yīng)持有真空設(shè)備維修資質(zhì)認(rèn)證。

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