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維修Edwards真空分子泵要注意哪些細節?求解答
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  • 打開Edwards真空分子泵之前,必須先打開冷卻水閥。 分子泵的葉輪停止后,必須關閉冷卻水閥。

  • Edwards真空分子泵故障燈亮。檢查電路板設置開關是否在R位置,此時應在N位置。檢查風扇是否停止。如果風扇正常,可能是分子泵電源故障。請聯系制造商。

  • Edwards真空分子泵的氣體回路接口的快速連接法蘭的螺釘應朝上,以防止松弛引起的空氣泄漏

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