檢查真空表是不是出現了問題，Edwards真空分子泵維修出口是否打開，機械泵油是否太臟，機械泵是否旋轉，系統是否漏氣。分子泵的葉片或轉子也可能損壞。您可以使用自己的工具移動刀片來判斷它是否可以旋轉。分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險絲被燒毀了。更換保險絲或檢查是否有短路。
當Edwards真空分子泵維修M2（方框2）或M7的真空度始終沒有到位時，請檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。
Edwards真空分子泵維修故障燈亮。檢查電路板設置開關是否在R位置，此時應在N位置。檢查風扇是否停止。如果風扇正常，可能是分子泵電源故障。請聯系制造商。
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