當Edwards進口分子泵未啟動時，檢查前級泵和電磁閥是否正常工作。當分子泵發生故障時，必須根據故障提示進行處理。
打開Edwards進口分子泵之前，必須先打開冷卻水閥。 分子泵的葉輪停止后，必須關閉冷卻水閥。
Edwards進口分子泵故障燈亮。檢查電路板設置開關是否在R位置，此時應在N位置。檢查風扇是否停止。如果風扇正常，可能是分子泵電源故障。請聯系制造商。
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