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Edwards真空分子泵維修需要注意什么呢?在線等
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  • 打開Edwards真空分子泵之前,必須先打開冷卻水閥。 分子泵的葉輪停止后,必須關閉冷卻水閥。

  • 當出現警告信息“ EF”時,檢查冷卻水通道是否暢通,并用機q進行檢查。 在再次打開Edwards真空分子泵之前,請確保水路暢通。 當出現其他報警信號時,嚴禁再次啟動分子泵進行后處理。

  • Edwards真空分子泵的氣體回路接口的快速連接法蘭的螺釘應朝上,以防止松弛引起的空氣泄漏

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