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分子泵使用過程中出出現(xiàn)故障的原因及維修方法,有人知道嗎?
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  • 1、分子泵為何會發(fā)生半邊熱,半邊冷的現(xiàn)象?原因:附近有光照或其他熱源解決方法:避免光照或熱源

  • 2、有防護網(wǎng)保護,為什么還會有大塊碎玻璃掉入泵內?原因:防護網(wǎng)po裂,前級管道po裂解決方法:優(yōu)化系統(tǒng)設計

  • 3、真空度很好的情況下,分子泵油為何會返到前級管道?原因:油池po裂或密封不良解決方法:檢查油池

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