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Edwards真空分子泵維修需要注意什么呢?求解答
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  • Edwards真空分子泵每次停機后,必須清洗每個分子泵的入口,以保持其清潔,以避免不必要的損壞。

  • 當Edwards真空分子泵M2(方框2)或M7的真空度始終沒有到位時,請檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。

  • 當Edwards真空分子泵出現故障無法使用時,應暫停生產,并在手動充滿空氣后更換備用分子泵。

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