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Edwards真空分子泵維修的維修注意事項有哪些? 感謝回答
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  • Edwards真空分子泵維修故障燈亮。檢查電路板設置開關是否在R位置,此時應在N位置。檢查風扇是否停止。如果風扇正常,可能是分子泵電源故障。請聯系制造商。

  • 當Edwards真空分子泵維修出現故障無法使用時,應暫停生產,并在手動充滿空氣后更換備用分子泵。

  • Edwards真空分子泵維修的氣體回路接口的快速連接法蘭的螺釘應朝上,以防止松弛引起的空氣泄漏

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