SHIMADZU真空泵散熱風扇及泵體表面附著雜質，影響泵體散熱，油箱內部以及泵腔內部真空油固化，因真空泵油固化導致轉子與葉片黏死無法甩出，單向閥堵塞損壞
在清潔SHIMADZU真空泵時應該在清潔干凈的環境里進行，不宜有雜物，粉塵，水源，溫度過高的區域。在安裝前應先檢查電機與泵內轉子轉向一致，一般電機上方標有電機正常運轉方向。如果長時間沒有運行，應斷續多次啟動真空泵。
定期檢查油鏡油位，觀察SHIMADZU真空泵油顏色，判斷油品質量；觀察排氣口是否有油煙排出；如有油煙排出說明油霧分離器失效應及時更換；檢查進氣過濾器濾芯是否有雜質堵塞影響抽速及真空度。一定嚴格按照保養指導書進行保養；或者根據實際使用工況進行保養。
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