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渦輪分子泵的工作原理是怎樣的?懂行的回答
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  • 渦輪分子泵是利用高速旋轉的動葉輪將動量傳給氣體分子,使氣體產生定向流動而抽氣的真空泵。

  • 渦輪分子泵主要由泵體、帶葉片的轉子(即動葉輪)、靜葉輪和驅動系統等組成。

  • 渦輪分子泵具有如下優點:(1)它可連續排氣;(2)易獲得清潔的超高真空;(3)對一般氣體,抽速幾乎相同;(4)操作與維護簡單,維修周期長;(5)啟動和停車時間短;(6)振動與噪音低。

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