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大神賜教!Edwards真空分子泵的維修注意事項是?
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  • Edwards真空分子泵每次停機后,必須清洗每個分子泵的入口,以保持其清潔,以避免不必要的損壞。

  • 當Edwards真空分子泵未啟動時,檢查前級泵和電磁閥是否正常工作。當分子泵發生故障時,必須根據故障提示進行處理。

  • Edwards真空分子泵不能在大氣中打開,必須在達到10Pa時打開。 打開相應的高壓閥以啟動分子泵

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