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如果高分辨率光譜儀故障原因不是硬件問題，可通過調整、重新設置光譜儀參數等技術操作解決的，可自行處理。
高分辨率光譜儀不能正常工作時，可先啟動儀器自診斷功能，檢查儀器某些器件工作狀況，或者根據儀器的異常現象，參照儀器使用說明書進行排查。
真空值是高分辨率光譜儀一個重要的參數，如果真空值下降過快就證明儀器出現了故障。操作人員可以通過看真空值曲線是否平緩，不平緩的話，就是漏氣的地方。可以通過檢查真空室真空蓋密封性，更換密封圈來解決故障。

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