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分子泵發熱有什么解決辦法嗎?求幫忙解答
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  • 分子泵漏氣(包括管路接口),其主要現象表現為電流過高,且分子泵的轉速低于額定轉速,真空度不穩定;

  • 冷卻水有問題,主要現象是溫度高,電流率高,真空度無影響;軸承問題,使用時間過長或內部較臟,需要進行保養,更換新的軸承;

  • 動平衡跑掉,現象是運轉過程噪音高,泵體發熱,真空度影響不大,但要注意觀察,容易發生葉片打碎現象;內部較臟,特別是制成物堆積過多造成運轉不暢,導致電機高負載,運轉發熱;

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